项目
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技术要求
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灵敏度(分辨率*)
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0.1µm-5µm范围内粒径分辨率≦10%
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测量不确定度
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在粒径设定档,浓度误差±20%
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校准周期
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不超过12个月,或规定的性能验证时
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计数效率
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最小粒径阀值时(50±20%),大于或等于最小粒径阀值的1.5倍时(100±10%)
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低浓度范围
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与实际预期的最低计数相比,伪计数不显著。自净阶段计数在一段时间内等于零(例如,5min内无计数)
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高浓度范围
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在使用点,大于设施洁净度上限浓度2倍,且不超过制造商建议最大浓度的75%
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